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日本ULVAC愛發科機械增壓泵

簡要描述：

日本ULVAC愛發科機械增壓泵
通過與干式真空泵、油旋轉真空泵或水封真空泵一起使用，機械增壓泵可以將抽速提高到 10kPa 至 0.1 Pa 之間，此時粗抽泵的抽速會下降。“Model：PRC" 專為特別需要清潔度的半導體和液晶顯示器工藝而設計。可以選擇大氣壓啟動類型作為選項。

更新時間：2025-06-20

訪問量：108

廠商性質：經銷商

型號：PRC-003A

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產品介紹：

品牌	ULVAC/日本愛發科	應用領域	環保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發科機械增壓泵

特征

無油泵殼內無油，即使在排出水蒸氣或溶劑蒸氣時也能保持穩定的性能。

屏蔽電機

使用屏蔽電機可以避免在大氣和真空之間使用機械密封。它可以在清潔的環境中使用，無需擔心漏油。

優異的耐腐蝕性表面處理

主要部件的表面硬度和耐腐蝕性的陽極氧化涂層可以防止泵內部的劃痕和腐蝕。可以選擇非表面處理作為選項。

用于較短抽真空的常壓啟動型（選項：變頻器）與標準型相比，該類型可以縮短抽氣時間，因為泵與粗抽泵同時啟動。

應用

蒸發、濺射、離子電鍍、真空干燥機、冷凍干燥機、真空脫氣
分析儀器、泄漏測試系統、氣體交換、填充、真空絕熱
熱處理、熔化爐
其他各種真空系統

規格

型號 *1			PRC-003A 系列	PRC-006A 系列	PRC-012A 系列	PRC-018A 系列
最大抽速		50 赫茲	280米3/h （4670 升/分鐘）	500 米3/h （8330 升/分鐘）	1000 米3/h （16700 升/分鐘）	1500米3/h （25000 升/分鐘）
		60 赫茲	330 米3/h （5500 升/分鐘）	600米3/h （10000 升/分鐘）	1200米3/h （20000 升/分鐘）	1800 米3/h （30000 升/分鐘）
最大吸入壓力		50 赫茲	1.2 x 103帕	1.3 x 103帕		1.2 x 103帕
		60 赫茲	約9.3 x 102帕	1.1 x 103帕		約9.3 x 102帕
最大允許壓差		50 赫茲	4.0 x 103帕	7.3 x 103帕		4.3 x 103帕
		60 赫茲	3.3 x 103帕	6.0 x 103帕		3.2 x 103帕
極限壓力 *2			4.0 x 10-1帕		6.7 x 10-1帕
允許的驅動壓力			~1.0 x 105Pa（常壓啟動型）
電機 *3	電機類型		Cand 三相感應電動機
	能效等級		ー
	權力		0.75 kW（2 極）	2.2 kW（2 極）	3.7 kW（2 極）	5.5 kW（2 極）
	電壓（200V 級）	50 赫茲	200 伏
		60 赫茲	200/220 伏
油 *4			ULVOIL R-42
油量			0.7 升	1.5 升	1.9 升
冷卻方式			水冷
冷卻水	一次側壓力		0.3 米帕
	入口/出口壓力差異 l 壓力體積		0.01 Mpa以上
	冷卻水容量		2 升/分鐘		3 升/分鐘
	冷卻水溫度 *5		5 ~ 30 °C
入口 JIS-B-2290			相當于 VG80 / ISO80F 或 ISO100F（可選）		相當于 VG100 / ISO100F （可選）	相當于 VG150 / ISO160F （可選）
出口 JIS-B-2290			相當于 VF80 / ISO80F 或 ISO100F（可選）			相當于 VF100 / ISO100F （可選）
尺寸 W×D×H *6			296×575×260 毫米	356×619×320 毫米	406×759×340 毫米	406×989×340 毫米
重量			51 千克	86 千克	118 千克	150 千克
標準粗抽泵			VD601 系列	VD901 系列	VS2401 系列	VS2401 系列
適用標準			-
標準附件			一劑油，一套手冊
選擇			無表面處理的泵、適配器法蘭、常壓啟動型（變頻器）、

注）本規范使用 SI 測量單位。轉換為非 SI 單位如下：
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 Torr

*1 標準型號為表面處理（陽極氧化涂層）。
可選，無表面處理模型可供選擇。
*2 使用標準前級泵和標準真空油的皮拉尼真空計測量。
*3 防爆法蘭電機（增安型和隔爆型外殼型）
無法選擇。
*4 油選項：可選，氟油（J25F）類型可選擇。
*5 在沒有冷凝的環境中使用。
*6 有關其他尺寸，請訪問 ULVAC 網站并參考發布的 CAD 數據。