下面200L/min以下的小型油旋片真空泵是No1的ULVAC機工制造。
根據減壓到多少，在真空槽中想做什么，真空泵隨其變化。
顯示真空泵所產生的壓力。另外，根據想要的真空空間的大小，真空泵的體積也會隨之而變化。
在某種程度上可以進行排氣計算，詳情請向本公司咨詢。

愛發科機械增壓泵，產品種類廣泛，可運用于多種多樣用途。

數值為型號選擇的參考值。

濺射離子泵是用于產生超高真空的典型泵之一。
離子真空泵具有簡單的工作原理，將電場施加到由陽極和陰極組成的泵單元上，因此在不產生機械振動和噪音下可以獲得超高真空。
此外，還廣泛用于分析儀器，加速器等，并且無油，因此安裝方法可以選擇。
愛發科通過開發在超高真空范圍內具有增強排氣特性的新型素子（Acter素子）并優化了磁場，開發了"Acter泵PST系列"。