| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 供貨周期 | 現貨 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發科干式真空泵
日本ULVAC愛發科干式真空泵
'高抽速
在接近大氣壓的情況下具有高抽速，可大大縮短抽氣停機時間
低功耗
ECO-SHOCK 技術實現了低功耗。（C 型）
極限壓力下的功耗為行業ling 先的 0.6kW 或更低。（LS120A-C）
內置消音器可實現 61dB（A） 或更低的噪音水平。
運行成本
低 無軸封氣體。
*吹掃氣體為 L 型。
抽速120~1200m3/h 等級 *帶機械增壓泵
根據用途可選擇最佳型號
C 型 ： 清潔工藝 （LS***A-C）
特點 ： 低功耗型 （內置 ECO-SHOCK）
應用 ： 用于空氣和 N2 G14 濺射 / 氣相沉積 /
層壓 / 負載鎖室 / TMP 前級泵等清潔工藝
L 型 ： 輕制程 （LS***A-L）
特點 ： 輕制程型 （帶表面處理和吹掃功能）
用途 ： 蒸汽和揮發性藥劑等輕制程 / 真空干燥 /
冷凍干燥 / 灰化 / 一般工業用途等
| 型 | （C：C 型） （L：L 型） | LS120A型 | LS300A型 | LS600A型 | LS1200A | |||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | |||
| 最大抽速 | m3/小時 | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 極限壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |||||||
| 電源 | 200V 等級：3相，50/60Hz，AC200-240V 或 400V 等級：3相，50/60Hz，AC380-480V | |||||||||
| 功耗 *1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
| 冷卻水 流量 | 升/分鐘 | >2.0 | >4.0 | |||||||
| 吹掃氣體流量 *2 | SLM 系列 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | |
| 最大水蒸氣 耐受性 *3 | 公斤/小時 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | |
| 噪音 *1 | 分貝（A） | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 入口 | 入口 KF50（臥式）/ VG50（立式） | ISO-F-50 材質 | ISO-F-80 認證 | ISO-F-100 認證 | ||||||
| 出口 | 肯氟烴40 | 肯氟烴40 | 肯氟烴40 | 肯氟烴40 | ||||||
| 重量 | 公斤 | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
| 適用標準 | CE、cTUVus | |||||||||
| 標準附件 | 電源連接器、防水電纜夾、遠程連接器、電源連接器防護罩 | |||||||||
| 泵頭選項 | 電源：200V 級或 400V 級，密封材料：FFKM（僅限 L 型） | |||||||||
| 外部選項 | MBP 入口法蘭適配器、Packege 排氣口、抗震支架、LR 兼容 單元（入口、遠程）、吹掃氣體閥 | |||||||||
*1：極限壓力（僅供參考）
*2：C 型不提供吹掃氣體。
*3：最大水蒸氣耐受量是使用吹掃氣體時的值。
注）C 型并非無泄漏。
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