| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵軸位置 | 其他 | 葉輪數目 | 其他 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發科螺桿型干式真空泵
日本ULVAC愛發科螺桿型干式真空泵
特征
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，實現耐腐蝕性
采用 ULVAC du 特設計的轉子軸，實現高性能的粉末排出
實現接近大氣壓的連續抽氣
用于半導體和電子設備制造設備的
真空系統蝕刻、灰化、等離子清洗等。
用于爐
燒結、滲碳等的真空系統
鋰離子電池制造設備的
真空系統 電極干燥、脫氣、真空注射等
醫療和食品
真空系統 冷凍干燥、真空干燥等
*MS1200A 可單獨提供，另設控制板和傳感器。請聯系我們了解詳情。
| 型 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
| 最大抽速 *1 | m3/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 極限壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源 | 200V 等級：3相， 50/60Hz， AC200-240V±10% 或 400V 等級：3相， 50/60Hz， AC380-480V±10% | |||
| 功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體流量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣容忍度 *1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪聲 *2 | 分貝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 入口 | KF50（臥式） / VG50（立式） | ISO-F-80 認證 | ISO-F-100 認證 | |
| 出口 | 肯氟烴40 | |||
| 重量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 適用標準 | CE、cTUVus | |||
| 標準附件 | 快速手冊， 電源連接器， 防水電纜夾， 遙控連接器， 電源連接器防護罩， 消音器 | |||
| 泵頭選項 | 電源：200V 級或 400V 級 密封材料：FKM 或 FFKM | |||
| 外部選項 | Packege 排氣口、抗震支架、LR 兼容單元（入口、遠程）、吹掃氣體閥 | |||
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